发明名称 Method of marking semiconductor chips, and marked semiconductor chip.
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kennzeichnung von Halbleiterchips (1) bezüglich mindestens eines bestimmten Merkmals mittels optisch erkennbarer, auf einer Oberfläche der Halbleiterchips (1) angebrachter Markierungen (9, 10), bei dem die optisch erkennbaren Markierungen (9, 10) durch Veränderung der Oberfläche mindestens eines, zum Zwecke des Markierens vorgesehenen, aus einem homogenen und gut reflektierenden Material bestehenden Flächenteils (2) angebracht werden.
申请公布号 EP0066835(A2) 申请公布日期 1982.12.15
申请号 EP19820104794 申请日期 1982.06.01
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 SCHINDLBECK, GUNTER, DIPL.-ING.
分类号 H01L21/66;H01L23/544;(IPC1-7):01L23/54 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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