发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS57204148(A) 申请公布日期 1982.12.14
申请号 JP19810088256 申请日期 1981.06.10
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 KUROSAWA AKIRA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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