发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR COATING FORMED MEMBER BY CATHODIC SPUTTERING |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS57203773(A) |
申请公布日期 |
1982.12.14 |
申请号 |
JP19820031836 |
申请日期 |
1982.03.02 |
申请人 |
RAIBORUTO HEREUSU GMBH |
发明人 |
BUORUFUUDEIITAA MIYUNTSU;GERUHARUTO HESUBERUGAA |
分类号 |
C23C14/34;B65G49/07;C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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