发明名称 METHOD AND DEVICE FOR COATING FORMED MEMBER BY CATHODIC SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPS57203773(A) 申请公布日期 1982.12.14
申请号 JP19820031836 申请日期 1982.03.02
申请人 RAIBORUTO HEREUSU GMBH 发明人 BUORUFUUDEIITAA MIYUNTSU;GERUHARUTO HESUBERUGAA
分类号 C23C14/34;B65G49/07;C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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