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发明名称 SUBSTRATE FIXTURE OF TREATING APPARATUS IN LIQUID
摘要
申请公布号 JPS57200300(A) 申请公布日期 1982.12.08
申请号 JP19810084834 申请日期 1981.06.01
申请人 KOKUSAI DENKI KK;HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 TANABE MIKIO;HIURA KAZUO;OZAWA MAKOTO;HIRATA HIDEKAZU;SAKUMA KIRIYOU
分类号 C30B19/06;C30B19/00;C30B35/00;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
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