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发明名称 ELECTRODE FOR A PLASMA ETCHINGS PLANT
摘要
申请公布号 EP0051174(A3) 申请公布日期 1982.12.08
申请号 EP19810108291 申请日期 1981.10.13
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 BRABETZ, BERNHARD, DIPL.-ING.;MANN, WOLFGANG;STEINER, RAINER, DIPL.-PHYS
分类号 H05K3/00;(IPC1-7):H05K3/00;H05K3/26;H01L21/26;C23F1/00;H05H1/24 主分类号 H05K3/00
代理机构 代理人
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