发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07130882(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930272432 申请日期 1993.10.29
申请人 SHARP CORP 发明人 YAMAUCHI YOSHIMITSU
分类号 H01L27/112;H01L21/8242;H01L21/8246;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/112
代理机构 代理人
主权项
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