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经营范围
发明名称
X-ray lithography
摘要
申请公布号
GB2099601(A)
申请公布日期
1982.12.08
申请号
GB19820014160
申请日期
1979.01.12
申请人
PERKIN ELMER THE CORP
发明人
分类号
G03F7/20;(IPC1-7):G03C5/24
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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