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发明名称 METHODS OF PRODUCING SCHOTTKY BARRIER SILICIDE CONTACTS ON SILICON SUBTRATES AND SILICON SEMICONDUCTOR DEVICES PROVIDED WITH SCHOTTKY BARRIER SILICIDE CONTACTS
摘要
申请公布号 EP0048849(A3) 申请公布日期 1982.12.08
申请号 EP19810107086 申请日期 1981.09.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 THOMPSON, RICHARD DEAN;TSAUR, BORYEU;TU, KING-NING
分类号 H01L29/80;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/329;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/812;H01L29/872;(IPC1-7):H01L29/40 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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