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发明名称
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08330331(A)
申请公布日期
1996.12.13
申请号
JP19950136723
申请日期
1995.06.02
申请人
HITACHI LTD
发明人
EGUCHI SOJI
分类号
H01L29/808;H01L21/337;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338
主分类号
H01L29/808
代理机构
代理人
主权项
地址
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