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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS57197827(A) 申请公布日期 1982.12.04
申请号 JP19810081047 申请日期 1981.05.29
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 WATANABE KIKUO;TAKANO YUKIO;TAKEMOTO KAYAO;KISHINO SEIGOU
分类号 H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/32 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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