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发明名称
摘要
申请公布号
JPS57191038(U)
申请公布日期
1982.12.03
申请号
JP19810078616U
申请日期
1981.05.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/31;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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