发明名称 Vakuumbelægningsanlæg
摘要
申请公布号 DK0555519(T3) 申请公布日期 1997.05.26
申请号 DK19920113075T 申请日期 1992.07.31
申请人 TOPPAN PRINTING CO., LTD.;BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GRIMM, HELMUT, DR.;KRUG, THOMAS, DR.;MEIER, ANDREAS, DIPL.-PHYS.;RUEBSAM KLEMENS, DIPL.-PHYS.;STEINIGER, GERHARD, DIPL.-PHYS.;GAMO,MIKA;SEKIGUCHI,MAMORU;KANO,MITSURU;YASUJIMA,HIROYUKI;MIAYAMOTO,TAKASHI;SASAKI,NOBORU
分类号 C23C14/24;C23C14/32;C23C14/56;H01J37/305;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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