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发明名称 EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPS57196793(A) 申请公布日期 1982.12.02
申请号 JP19810082305 申请日期 1981.05.29
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 SUZUKI YOSHIAKI
分类号 C30B25/02;H01L21/02;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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