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发明名称
摘要
申请公布号
JPS57190419(U)
申请公布日期
1982.12.02
申请号
JP19810077280U
申请日期
1981.05.29
申请人
发明人
分类号
G01D11/00;H01L31/04;H01L31/042;H02M7/06;(IPC1-7):G01D11/00
主分类号
G01D11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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