发明名称
摘要
申请公布号 JPS57190419(U) 申请公布日期 1982.12.02
申请号 JP19810077280U 申请日期 1981.05.29
申请人 发明人
分类号 G01D11/00;H01L31/04;H01L31/042;H02M7/06;(IPC1-7):G01D11/00 主分类号 G01D11/00
代理机构 代理人
主权项
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