| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET IN EEN VLAK OPPERVLAK VAN EEN VOORWERP VORMEN VAN VERDIEPTE DELEN. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL170646(C) |
申请公布日期 |
1982.12.01 |
| 申请号 |
NL19710014349 |
申请日期 |
1971.10.19 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED TE NEW YORK. |
发明人 |
|
| 分类号 |
C23F4/00;H01F10/00;H01L21/00;H01L21/263;(IPC1-7):C23C15/00;H01L21/26 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
