发明名称 Reinigungsapparat und Reinigungsverfahren für feine supraleitende Teilchen
摘要
申请公布号 DE3856037(T2) 申请公布日期 1998.01.29
申请号 DE19883856037T 申请日期 1988.07.08
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KISHI, FUMIO,C/O CANON K.K., OHTA-KU, TOKYO, JP;AKAIKE, MASATAKE, ATSUGI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;YAMAMOTO, KEISUKE, ATSUGI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;MOTOI, TAIKO,C/O CANON K.K., OHTA-KU, TOKYO, JP;KANEKO, NORIO, ATSUGI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;IWATATE, FUJIO, SETAGAYA-KU, TOKYO, JP;OHMI, KAZUAKI, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;KAWASAKI, TAKEHIKO, ATSUGI-SHI, KANAGAWA-KNE, JP;SHINJOU, ATSUKO, ISEHARA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 B03C1/02;B03C1/021;C01B13/16;C01G1/00;H01B12/00;H01L39/00;(IPC1-7):B03C1/02;H01L39/24 主分类号 B03C1/02
代理机构 代理人
主权项
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