发明名称 BATCH-WISE CONTINUOUS TYPE VACUUM TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS57195753(A) 申请公布日期 1982.12.01
申请号 JP19810082358 申请日期 1981.05.29
申请人 SHINETSU KAGAKU KOGYO KK;HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 UENO SUSUMU;KAMATA HIDEAKI;IMADA KIYOSHI;HATA YOSHITADA;TOUKAI MASAYA;KATOU KENICHI
分类号 C23C14/20;C08J7/00;C08J7/04;C23C14/56 主分类号 C23C14/20
代理机构 代理人
主权项
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