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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der absoluten Plasmaparameter
摘要
申请公布号 DE69500694(T2) 申请公布日期 1998.03.26
申请号 DE19956000694T 申请日期 1995.12.07
申请人 ADOLF-SLABY-INSTITUT, FORSCHUNGSGESELLSCHAFT FUER PLASMATECHNOLOGIE UND MIKROSTRUKTURIERUNG MBH, 12459 BERLIN, DE 发明人 KLICK, MICHAEL, DR., D-12627 BERLIN, DE
分类号 H05H1/00;(IPC1-7):H05H1/00 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
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