发明名称 VACUUM TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS57195736(A) 申请公布日期 1982.12.01
申请号 JP19810080889 申请日期 1981.05.29
申请人 SHINETSU KAGAKU KOGYO KK;HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 IMADA KIYOSHI;UENO SUSUMU;KAMATA HIDEAKI;TOUKAI MASAYA;HATA YOSHITADA;KATOU KENICHI
分类号 H05H1/24;C08J7/00;H05H1/22 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
地址