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发明名称 DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS57192268(A) 申请公布日期 1982.11.26
申请号 JP19810076243 申请日期 1981.05.19
申请人 MATSUSHITA DENKI SANGYO KK 发明人 SASAKO MASARU;SHIMODA HIDEAKI;EDAMATSU JIYUICHI;YASUI JIYUUROU
分类号 C23F4/00;C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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