发明名称 METHOD OF MAKING THE HOLES WITH MICROMETRIC DIMENSIONS IN THE SEMICONDUCTOR AND ISOLATION PLATES
摘要
申请公布号 CS216866(B1) 申请公布日期 1982.11.26
申请号 CS19800006824 申请日期 1980.10.09
申请人 GULDAN,ARNOST,CS;KUBEK,JOZEF,CS;HRUBCIN,LADISLAV,CS 发明人 GULDAN,ARNOST,CS;KUBEK,JOZEF,CS;HRUBCIN,LADISLAV,CS
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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