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发明名称
METHOD OF MAKING THE HOLES WITH MICROMETRIC DIMENSIONS IN THE SEMICONDUCTOR AND ISOLATION PLATES
摘要
申请公布号
CS216866(B1)
申请公布日期
1982.11.26
申请号
CS19800006824
申请日期
1980.10.09
申请人
GULDAN,ARNOST,CS;KUBEK,JOZEF,CS;HRUBCIN,LADISLAV,CS
发明人
GULDAN,ARNOST,CS;KUBEK,JOZEF,CS;HRUBCIN,LADISLAV,CS
分类号
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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