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发明名称 WAFER POLISHING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 EP0686076(B1) 申请公布日期 1999.06.09
申请号 EP19940909651 申请日期 1994.02.17
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 LEONI, FABRIZIO;MORGANTI, MARCO;VESCO, LUIGI
分类号 B24B37/10;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B37/10
代理机构 代理人
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