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发明名称 METHOD OF ETCHING
摘要
申请公布号 JPS57192265(A) 申请公布日期 1982.11.26
申请号 JP19810076563 申请日期 1981.05.22
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 MURAMATSU SHINICHI;OOJI YUZURU;MUKAI KIICHIROU;MIZUTANI TATSUMI
分类号 C23F1/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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