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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN FILM AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURED BY THIS METHOD
摘要
申请公布号 JPH11251306(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980052163 申请日期 1998.03.04
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MIKATA YUICHI
分类号 H01L21/31;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/824 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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