发明名称 METHOD OF PULLING OUT SILICON ROD AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURED THEREFROM
摘要
申请公布号 JPS57191296(A) 申请公布日期 1982.11.25
申请号 JP19820070173 申请日期 1982.04.26
申请人 PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN NV 发明人 ARIE YAN RUDORUFU DO KOKU;UIRIBURORUDASU MARIA FUAN DO UIIHERUTO
分类号 C30B15/00;C30B15/04;C30B15/20;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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