发明名称 |
METHOD OF PULLING OUT SILICON ROD AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURED THEREFROM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS57191296(A) |
申请公布日期 |
1982.11.25 |
申请号 |
JP19820070173 |
申请日期 |
1982.04.26 |
申请人 |
PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN NV |
发明人 |
ARIE YAN RUDORUFU DO KOKU;UIRIBURORUDASU MARIA FUAN DO UIIHERUTO |
分类号 |
C30B15/00;C30B15/04;C30B15/20;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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