| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE LES ACCELERATEURS DE FAISCEAU D'IONS.</P><P>UN ACCELERATEUR A HAUTE ENERGIE POUR UNE MACHINE D'IMPLANTATION IONIQUE COMPORTE N ELECTRODES 42, 44, 46, 48 UNIFORMEMENT ESPACEES LE LONG DU CHEMIN D'UN FAISCEAU D'IONS. LES POTENTIELS DES ELECTRODES SONT FIXES PAR UN DIVISEUR DE TENSION A RESISTANCES 53 QUI COMPORTE N BORNES. UNE BARRE DE COURT-CIRCUIT 70 ENTRAINEE PAR UN MOTEUR PNEUMATIQUE 72 EST DIMENSIONNEE ET POSITIONNEE POUR VENIR SELECTIVEMENT EN CONTACT AVEC CERTAINES DES BORNES DU DIVISEUR, EN EFFECTUANT UN MOUVEMENT PAS A PAS SYNCHRONISE AVEC LES VARIATIONS DE LA SOURCE DE TENSION QUI ALIMENTE LE DIVISEUR. CETTE CONFIGURATION MAINTIENT UN GRADIENT DE TENSION PRATIQUEMENT CONSTANT POUR LES ELECTRODES NON COURT-CIRCUITEES, MALGRE LES VARIATIONS DE L'ENERGIE APPLIQUEE AU FAISCEAU.</P><P>APPLICATION AUX MACHINES D'IMPLANTATION IONIQUE.</P>
|
