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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATICALLY DISCOVERING ERROR OF FLAT FIGURE
摘要
申请公布号
JPS57187606(A)
申请公布日期
1982.11.18
申请号
JP19820065237
申请日期
1982.04.19
申请人
ERNST LEITZ GMBH
发明人
HANSU DEIITAA YAKOBII
分类号
G01R31/26;G01B11/24;G01B11/245;G01N21/956;G03F1/00;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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