发明名称 PHOTOSENSITIVE COMPOSITION
摘要
申请公布号 AU525646(B2) 申请公布日期 1982.11.18
申请号 AU19790050587 申请日期 1979.09.05
申请人 MITSUBISHI CHEMICAL INDUSTRIES LTD 发明人 SHIGEKI SHIMIZU;AKINOBU OSHIMA
分类号 C08F2/00;C08F2/54;C08G63/00;C08G63/52;C08G63/676;G03F7/032;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):C08F283/00;G03C1/71;G03F7/10 主分类号 C08F2/00
代理机构 代理人
主权项
地址