发明名称 SILICON ON SAPPHIRE LASER PROCESS.
摘要
申请公布号 EP0032510(A4) 申请公布日期 1982.11.17
申请号 EP19800901614 申请日期 1981.02.09
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 YARON, GIORA;HARARI, ELIYAHOU;WANG, SAMUEL T.;HESS, LAVERNE D.
分类号 H01L29/04;H01L21/268;H01L21/324;H01L21/768;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/22;H01L21/265 主分类号 H01L29/04
代理机构 代理人
主权项
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