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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR EFFECTING THE LAPPING OF WAFERS OF SEMICONDUCTIVE MATERIAL
摘要
申请公布号 GB2058620(B) 申请公布日期 1982.11.17
申请号 GB19800026700 申请日期 1980.08.15
申请人 SPEEDFAM CORP 发明人
分类号 B24B37/04;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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