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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5753972(B2) 申请公布日期 1982.11.16
申请号 JP19770076930 申请日期 1977.06.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;G05G23/00;H01L21/60 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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