发明名称 SHIELDING DEVICE IN ELECTRIC DISCHARGE TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS57185983(A) 申请公布日期 1982.11.16
申请号 JP19810069381 申请日期 1981.05.11
申请人 NIPPON SHINKU GIJUTSU KK 发明人 FUJIOKA TOSHIAKI
分类号 C23F4/00;C23C14/34;C23F1/08;H01L21/285;H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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