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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5752118(Y2)	申请公布日期	1982.11.12
申请号	JP19780102848U	申请日期	1978.07.25
申请人		发明人
分类号	C23F13/00;(IPC1-7):C23F13/00	主分类号	C23F13/00
代理机构		代理人
主权项
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