发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR STRUCTURE REDUCING LATERAL DISTANCE BETWEEN BURIED REGIONS
摘要
申请公布号 JPS57184230(A) 申请公布日期 1982.11.12
申请号 JP19820022925 申请日期 1982.02.17
申请人 FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORP 发明人 ROBAATO II KARUDOUERU
分类号 H01L29/73;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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