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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS57183326(A) 申请公布日期 1982.11.11
申请号 JP19810067690 申请日期 1981.05.07
申请人 NIPPON DENSHIN DENWA KOSHA 发明人 YABUMOTO CHIKAKUNI;OJIMA MASAHARU;YAMAGUCHI MASAO
分类号 C01G28/00 主分类号 C01G28/00
代理机构 代理人
主权项
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