光罩容器,输送容纳于该容器内之微影光罩之方法,及扫描在一容器内之光罩之方法

摘要

本发明关于能够容纳一光罩(MA)之容器(70)，其对至少一预设波长之照射而言至少部分为半透明的，且制造方式是利用该波长之光线自光罩容器(70)外侧取得影像。容器(70)之半透明部分可以下列材质中之至少一种制成：玻璃，塑胶玻璃。