| 发明名称 |
ELECTRON BEAM ARRAY LITHOGRAPHIC METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS57181122(A) |
申请公布日期 |
1982.11.08 |
| 申请号 |
JP19820063209 |
申请日期 |
1982.04.15 |
| 申请人 |
CONTROL DATA CORP |
发明人 |
KENESU JIREMII HAATE;DONARUDO OSUKAA SUMISU |
| 分类号 |
H01L21/027;H01J37/304;H01J37/317 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
