发明名称 VAPORIZER FOR CVD, SOLUTION-VAPORIZATION CVD APPARATUS AND VAPORIZATION-METHOD FOR CVD
摘要
申请公布号 KR100693396(B1) 申请公布日期 2007.03.12
申请号 KR20057003645 申请日期 2005.03.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/448;C30B25/14 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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