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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM JUSTIEREN EINES WAFERS, SPEZIELL HALBLEITERWAFERS
摘要
申请公布号 DE3213338(A1) 申请公布日期 1982.11.04
申请号 DE19823213338 申请日期 1982.04.08
申请人 WESTERN ELECTRIC CO.,INC. 发明人 FELDMAN,MARTIN;DAVID WHITE,ALAN;LAWRENCE WHITE,DONALD
分类号 H01L21/68;G01B11/00;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F9/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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