| 主权项 |
1.一种电化学电镀系统,包含有: 一上部组件,用以上载以及固定晶圆; 一电镀反应容器,其用以承装电镀溶液; 一阳极阵列,包含有复数个阳极环状区块电极; 一电源供应系统,包含有复数个次控制单元,其乃 分别用来控制前述的阳极环状区块电极在电镀操 作时的个别电位势能大小;以及 复数个相对应于前述的阳极环状区块电极之感应 器元件设置于该上部组件内,其中在电镀操作时, 该复数个感应器元件系用以线上即时地将表面沈 积轮廓状态传送回馈到一控制单元。 2.如申请专利范围第1项所述之电化学电镀系统,其 中该复数个感应器元件系为艾迪电流(eddy current) 感应器。 3.如申请专利范围第1项所述之电化学电镀系统,其 中该控制单元接收由该复数个感应器元件所侦测 到之该即时的表面沈积轮廓状态后,随即改变该电 源供应系统中的该复数个次控制单元的个别电位 势能输出。 4.如申请专利范围第1项所述之电化学电镀系统,其 中前述的晶圆系电连接至电源供应系统,使得该晶 圆能够在电镀过程中作为阴极。 5.如申请专利范围第1项所述之电化学电镀系统,其 中前述的阳极环状区块电极呈同心圆排列。 图式简单说明: 第1图为根据本发明较佳实施例之具有线上即时回 馈系统之电化学电镀装置示意图。 |
