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发明名称 ION SHOWER DEVICE
摘要
申请公布号 JPS57177975(A) 申请公布日期 1982.11.01
申请号 JP19810061409 申请日期 1981.04.24
申请人 NIPPON DENSHIN DENWA KOSHA 发明人 MATSUO SEITAROU;ADACHI YOSHIO
分类号 C23F4/00;C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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