热酸产生剂及含其之光阻底层膜材料,以及使用此光阻底层膜材料之图型的形成方法

摘要

本发明系一种热酸产生剂，其特征系下述一般式(1a)表示，以100℃以上之加热产生酸， CF3CH(OCOR)CF2SO3-(R1)4N+ (1a)(式中，R系烷基或芳基。R1系氢原子、烷基、烯基或氧代烷基、芳基、芳烷基或芳基氧代烷基，或R1中任2个以上为相互结合可与式中之N共同形成环)。由本发明之热酸产生剂所产生之磺酸，因在分子内具有酯部位，因此容易导入由较小之醯基至巨大的基，可具有宽广度之分子设计。又这些热酸产生剂具有充分的酸强度，高分子量且挥发性低，藉由加热可形成充分的膜。装置制作后之光阻废液处理时，可转换为更低分子量之低蓄积性的化合物，且燃烧性高。