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发明名称 PLASMA SOURCE FOR MICROELECTRONICS APPLICATIONS
摘要
申请公布号 SU511751(A1) 申请公布日期 1982.10.30
申请号 SU19731975242 申请日期 1973.12.10
申请人 MO I RADIOTECH 发明人 KOVALSKIJ G.A.,SU;BEREZKINA M.M.,SU;KAUFMAN M.S.,SU
分类号 H05H7/00;H01J3/04;H05H7/12;(IPC1-7):H05H7/00 主分类号 H05H7/00
代理机构 代理人
主权项
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