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发明名称 METHOD FOR MAKING SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 SU774476(A1) 申请公布日期 1982.10.30
申请号 SU19792767761 申请日期 1979.05.18
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I IM.A.F.IOFFE 发明人 GREKHOV I.V.,SU;PROCHUKHAN V.D.,SU;KOSTINA L.S.,SU;AVERKIEVA G.K.,SU;SEMCHINOVA O.K.,SU
分类号 H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/36 主分类号 H01L21/363
代理机构 代理人
主权项
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