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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON STRUKTUREN ODER MUSTERN
摘要
申请公布号 DE3203898(A1) 申请公布日期 1982.10.28
申请号 DE19823203898 申请日期 1982.02.05
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE PUBLIC CORP. 发明人 YOSHIKAWA,AKIRA;TAKEDA,AKITSU;OCHI,OSAMU;HISAKI,TOMOKO;MIZUSHIMA,YOSHIHIKO
分类号 H01L21/306;G03F7/00;H01L21/027;H01L21/266;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/314;(IPC1-7):G03F7/02 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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