| 发明名称 |
EPITAXIAL GROWTH UNDER REDUCED PRESSURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS57175797(A) |
申请公布日期 |
1982.10.28 |
| 申请号 |
JP19810059854 |
申请日期 |
1981.04.22 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
TAKAHASHI RIYOUKICHI;MATSUDA MASATOSHI;KOGIRIMA MASAHIKO;TOCHIKUBO HIROO;KANAI AKIRA |
| 分类号 |
C30B25/14;C01B33/02;H01L21/02;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
