发明名称 SENSOR FOR MEASURING PHYSICAL QUANTITY, MANUFACTURE AND USE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS57173718(A) 申请公布日期 1982.10.26
申请号 JP19820041610 申请日期 1982.03.16
申请人 HANNO SHIYAUNBURUKU 发明人 HANNO SHIYAUNBURUKU
分类号 G01D5/18;G01K7/22;G01K13/00;H01L29/84 主分类号 G01D5/18
代理机构 代理人
主权项
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