发明名称 METHOD OF FORMING DIELECTRIC ISOLATION REGION
摘要
申请公布号 JPS57173957(A) 申请公布日期 1982.10.26
申请号 JP19820022202 申请日期 1982.02.16
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 KURAUSU DEIITORITSUHI BEIYAA;JIYOSEFU SUKINAA ROOGAN
分类号 H01L29/73;H01L21/033;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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