发明名称 |
METHOD OF FORMING DIELECTRIC ISOLATION REGION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS57173957(A) |
申请公布日期 |
1982.10.26 |
申请号 |
JP19820022202 |
申请日期 |
1982.02.16 |
申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
KURAUSU DEIITORITSUHI BEIYAA;JIYOSEFU SUKINAA ROOGAN |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/033;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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