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发明名称
摘要
申请公布号 JPS57167762(U) 申请公布日期 1982.10.22
申请号 JP19810053995U 申请日期 1981.04.14
申请人 发明人
分类号 H01J37/34;C23C14/32;(IPC1-7):C23C13/00 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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