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Verfahren zur Strahlsteuerung in einem Scanmikroskop mit folgenden Schritten: • Aufnehmen eines Voransichtsbildes (7); • Markieren mindestens eines interessierenden Bereichs (27, 29) im Voransichtsbild (7); • Verschieben des Scanfeldes (31, 33) auf den interessierenden Bereich (27, 29) mittels einer ersten Strahlablenkeinrichtung (43, 67, 78); und • Aufnehmen eines Bildes durch mäanderförmiges Abtasten des interessierenden Bereichs (27, 29) mit einer zweiten Strahlablenkeinrichtung (49, 72, 82, 94), dadurch gekennzeichnet, dass die erste und die zweite Strahlablenkeinrichtung (72, 78, 82, 94) mit je zwei Strahlablenkmodulen (71 und 75, 81 und 83, 77 und 79, 93 und 95) ausgestaltet sind und dass die Strahlablenkmodule (71 und 75, 81 und 83, 77 und 79, 93 und 95) durch einen kardanisch aufgehängten Spiegel oder einen Mikrospiegel oder einen Akusto-Optischen-Deflektor oder einen Galvanometerspiegel oder ein resonant schwingendes Spiegelsystem gebildet sind. |
